詳細(xì)目錄：

第一篇 真空鍍膜技術(shù)概論
第一章 真空鍍膜技術(shù)及其應(yīng)用
第二章 真空鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)
第三章 真空鍍膜常用塑料
第四章 真空鍍膜常用涂料

第二篇 真空技術(shù)
第一章 真空基本知識(shí)
第二章 真空泵
第三章 真空系統(tǒng)
第四章 真空測(cè)量
第五章 真空檢漏

第三篇 真空鍍膜材料
第一章 薄膜材料的基本理論和特性
第二章 金屬薄膜材料
第三章 介質(zhì)和半導(dǎo)體薄膜材料
第四章 光學(xué)性能可變換的薄膜材料

第四篇 真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)
第一章 真空蒸發(fā)鍍膜原理
第二章 蒸發(fā)源
第三章 蒸發(fā)源的蒸發(fā)特性及其膜厚分布
第四章 某些特定材料的蒸發(fā)技術(shù)
第五章 間歇式真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
第六章 半連續(xù)式真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

第五篇 真空濺射鍍膜技術(shù)
第一章 濺射技術(shù)
第二章 直流濺射鍍膜
第三章 磁控濺射鍍膜
第四章 射頻濺射鍍膜
第五章 反應(yīng)濺射鍍膜
第六章 磁場(chǎng)計(jì)算
第七章 水冷系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與計(jì)算
第八章 膜厚均勻度

第六篇 真空離子鍍膜和束流沉積技術(shù)
第一章 真空離子鍍膜
第二章 離子束沉積技術(shù)
第三章 分子束外延技術(shù)

第七篇 化學(xué)氣相沉積技術(shù)
第一章 化學(xué)氣相沉積技術(shù)概論
第二章 化學(xué)氣相沉積方法
第三章 低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)
第四章 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)
第五章 其它化學(xué)氣相沉積法

第八篇 真空離子注入技術(shù)
第一章 真空離子注入技術(shù)概論
第二章 幾種離子注入的新方法
第三章 離子注入裝置
第四章 離子注入及離子束混合的應(yīng)用

第九篇 薄膜微細(xì)加工技術(shù)
第一章 薄膜微細(xì)加工技術(shù)概論
第二章 離子束刻蝕
第三章 糠酸濺射刻蝕
第四章 等離子體反應(yīng)刻蝕
第五章 反應(yīng)離子刻蝕

第十篇 薄膜厚度的測(cè)量與監(jiān)控
第一章 電學(xué)測(cè)量法
第二章 光學(xué)測(cè)量法
第三章 機(jī)械測(cè)量法

第十一篇 真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)安裝與操作維護(hù)
第一章 真空鍍膜設(shè)備構(gòu)件設(shè)計(jì)
第二章 卷繞式真空鍍膜機(jī)
第三章 間歇式真空鍍膜機(jī)
第四章 真空鍍膜設(shè)備安裝調(diào)試與操作維修

第十二篇 真空鍍膜技術(shù)在塑料薄膜和制成品上的應(yīng)用
第一章 真空鍍膜技術(shù)在塑料薄膜上的應(yīng)用
第二章 真空鍍膜技術(shù)在塑料成型品上應(yīng)用

相似教材