復雜產(chǎn)品研發(fā)技術風險管理研究與應用

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圖5 產(chǎn)品技術風險管理

(2)過程技術風險管理

光刻設備研發(fā)項目實施了標準的研發(fā)流程，并將研發(fā)流程固化在reamcenter Project軟件中．任何子系統(tǒng)研發(fā)流程基本類似，都有需求設計(定義)、概念設計(初步設計)、詳細設計(技術設計)、工藝設計和制造與驗收諸階段組成．

在研發(fā)過程的每個階段的重要活動，或階段與階段之間的交接活動(即里程碑)必須進行產(chǎn)品的技術風險管理．當各系統(tǒng)、子系統(tǒng)、零部件的設計由一個階段進入另一階段時，風險管理小組對設計階段的風險進行識別與評估，以決定研發(fā)是否進入下一階段或重新回到前面的某一活動．表1為概念設計階段結(jié)束后的工作臺掩模臺系統(tǒng)技術風險分析．

表1 工作臺掩模臺系統(tǒng)技術風險分析



通過應用上述技術風險管理方法，不僅驗證了本文提出復雜產(chǎn)品研發(fā)技術風險管理的有效性，也對保證光刻機設備研發(fā)的成功具有重要的實用價值．

5結(jié)語

針對研發(fā)目標產(chǎn)品和研發(fā)過程的復雜性，提出了技術風險二維模型和技術風險管理體系結(jié)構，可應用于大型復雜產(chǎn)品的研發(fā)技術風險管理中．基于本文提出的技術風險管理體系結(jié)構，可進一步進行產(chǎn)品技術風險和過程技術風險的定量分析和風險控制。

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