PVD(Physical Vapor Deposition)，指利用物理過程實現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移，將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過程。它的作用是可以是某些有特殊性能（強(qiáng)度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能！　　PVD基本方法：真空蒸發(fā)、濺射　　1. PVD簡介　　PVD是英文Physical Vapor Deposition（物理氣相沉積）的縮寫，是指在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上?！　?. PVD技術(shù)的發(fā)展　　PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末，制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點。最初在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在開發(fā)高性能、高可靠性涂層設(shè)備的同時，也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進(jìn)行了更加深入的涂層應(yīng)用研究。與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時對刀具材料的抗彎強(qiáng)度無影響；薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力，更適于對硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。目前PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理?！　VD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強(qiáng)度，涂層成分也由第一代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta－C等多元復(fù)合涂層。　　3. 涂層的PVD技術(shù)　　增強(qiáng)型磁控陰極?。宏帢O弧技術(shù)是在真空條件下，通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài)，從而完成薄膜材料的沉積。增強(qiáng)型磁控陰極弧利用電磁場的共同作用，將靶材表面的電弧加以有效地控制，使材料的離化率更高，薄膜性能更加優(yōu)異?！　∵^濾陰極弧：過濾陰極電弧(FCA )配有高效的電磁過濾系統(tǒng)，可將離子源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀粒子、離子團(tuán)過濾干凈，經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%，并且可以過濾掉大顆粒，因此制備的薄膜非常致密和平整光滑，具有抗腐蝕性能好，與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。　　磁控濺射：在真空環(huán)境下，通過電壓和磁場的共同作用，以被離化的惰性氣體離子對靶材進(jìn)行轟擊，致使靶材以離子、原子或分子的形式被彈出并沉積在基件上形成薄膜。根據(jù)使用的電離電源的不同，導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料均可作為靶材被濺射?！　‰x子束DLC：碳?xì)錃怏w在離子源中被離化成等離子體，在電磁場的共同作用下，離子源釋放出碳離子。離子束能量通過調(diào)整加在等離子體上的電壓來控制。碳?xì)潆x子束被引到基片上，沉積速度與離子電流密度成正比。星弧涂層的離子束源采用高電壓，因而離子能量更大，使得薄膜與基片結(jié)合力很好；離子電流更大，使得DLC膜的沉積速度更快。離子束技術(shù)的主要優(yōu)點在于可沉積超薄及多層結(jié)構(gòu)，工藝控制精度可達(dá)幾個埃，并可將工藝過程中的顆料污染所帶來的缺陷降至最小?！　?,補(bǔ)充　　物理氣向沉積技術(shù) * PVD 介紹物理氣相沉積具有金屬汽化的特點，　　與不同的氣體發(fā)應(yīng)形成一種薄膜涂層。今天所使用的大多數(shù) PVD 方法是電弧和濺射沉積涂層。這兩種過程需要在高度真空條件下進(jìn)行?！　onbond 陰極電弧 PVD 涂層技術(shù)在 20 世紀(jì) 70 年代后期由前蘇聯(lián)發(fā)明，如今，絕大多數(shù)的刀模具涂層使用電弧沉積技術(shù)?！　」に嚋囟取　〉湫偷?PVD 涂層加工溫度在 250 ℃— 450 ℃之間，但在有些情況下依據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域和涂層的質(zhì)量， PVD 涂層溫度可低于 70 ℃或高于 600 ℃進(jìn)行涂層?！　⊥繉舆m用的典型零件　　PVD 適合對絕大多數(shù)刀具模具和部件進(jìn)行沉積涂層，應(yīng)用領(lǐng)域包括刀具和成型模具，耐磨部件，醫(yī)療裝置和裝飾產(chǎn)品?！　〔牧习ㄤ撡|(zhì)，硬質(zhì)合金和經(jīng)電鍍的塑料。　　典型涂層類型　　涂層類型有 TiN, ALTIN,TiALN,CrN,CrCN,TiCN 和 ZrN, 復(fù)合涂層包括 TiALYN 或 W — C ： H/DLC　　涂層厚度一般 2~5um ，但在有些情況下，涂層薄至 0.5um , 厚至 15um裝載容量。　　涂層種類和厚度決定工藝時間，一般工藝時間為 3~6 小時?！　〖庸み^程優(yōu)點　　適合多種材質(zhì)，涂層多樣化　　減少工藝時間，提高生產(chǎn)率　　較低的涂層溫度，零件尺寸變形小對工藝環(huán)境無污染2.CVD(Chemical Vapor Deposition, 化學(xué)氣相淀積)，指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。經(jīng)過CVD處理后，表面處理膜密著性約提高30%，防止高強(qiáng)力鋼的彎曲，拉伸等成形時產(chǎn)生的刮痕。　　CVD特點：淀積溫度低，薄膜成份易控，膜厚與淀積時間成正比，均勻性，重復(fù)性好，臺階覆蓋性優(yōu)良。

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